광전자 소자

광전자 소자

광전자 소자는 빛을 방출, 제어 또는 감지하는 전자 소자입니다. 레이저 스캐닝 및 프린팅, 통신, 산업 재료 가공과 같은 애플리케이션은 전통적으로 광전자 소자 기술에 의존해 왔습니다. 최근에는 LED(발광 다이오드)가 많이 채택되고 있습니다. 레이저, 광검출기, 마이크로 LED 및 광자 집적 회로(PIC)와 같은 광전자 소자는 증강 현실, 3D 센싱, LiDAR(광감지 및 거리 측정) 같은 새로운 기술의 구성 요소입니다.

이러한 기술이 오늘날의 애플리케이션 요구 사항을 충족하는 데에는 혁신적인 소자 아키텍처, 새로운 재료 개발, 재료의 모놀리식 및 이종 집적, 더 큰 웨이퍼 크기, 단일 웨이퍼 가공이 필요합니다. 200/300mm 생산 기술의 지속적인 개발 및 발전은 전반적인 팹 생산성 향상뿐만 아니라 소자 및 수율의 개선을 제공하며, 이는 모두 반도체 제조업체에 성능 및 비용 측면에서 지속적인 이점을 의미합니다.

어플라이드 머티어리얼즈의 광전자 소자 부문에 대한 광범위한 제품 포트폴리오에는 유전체 증착, 에피택시, 식각, 금속 증착, 화학 기계적 평탄화(CMP), 임플란트, 원자층 증착(ALD)검사가 포함됩니다. 압전 필름, ALD 유전체무손상 식각과 같은 새로운 기술은 최신 소자의 애플리케이션 사양을 충족하는 데 필요한 근본적인 소자 성능을 향상하고 있습니다.

Photonic Silicon